特許
J-GLOBAL ID：200903099803699781
共焦点走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289944
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133869
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】容易かつ瞬時に共焦点画像と、非共焦点画像とを選択することが可能で、安価かつ小型となる共焦点走査型光学顕微鏡を得る。【解決手段】レーザ光源1からの光を試料11上に集光する対物レンズ10、1と10の間に配置されていて10に入る光の入射角度を変化させることにより11上をそれぞれ直交する方向に走査するガルバノメータミラー4,7、11からの光を絞るピンホール17を通過した光を検出して共焦点画像信号を出力する検出器18、4,7と17の間に配置され、11からの光を所定の割合に分割するビームスプリッター3,13、3,13により分割された光を検出して非共焦点画像信号を出力する検出器20、18,20によりそれぞれ検出された画像信号を表示するモニタ36、36に入力される18,20からの画像信号を電気的に切換える切換器35を具備したもの。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から発した光を試料上に集光する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズの間に配置されていて前記対物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより試料上をそれぞれ直交する方向に走査する光偏向部材と、前記試料からの光を共焦点絞りを通過させて検出して共焦点画像信号を出力する第1の検出器と、前記試料からの光を検出して非共焦点画像信号を出力する第2の検出器と、前記第1および第2の検出器によりそれぞれ検出された画像信号を表示するモニタと、前記モニタに入力される前記第1および第2の検出器からの画像信号を電気的に切換える切換器と、を具備した共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-177595
出願人：株式会社ニコン
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