イベント型半導体テストシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115719
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349930
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】テストシステム内で2以上のピンユニットグループがそれぞれ互いに独立してテスト動作を行い、テスト終了を示す信号を各ピンユニットグループに対応して複数個独立して発生するイベント型テストシステムを提供する。【解決手段】イベント型テストシステムは、被試験デバイスピンに割り当てられる複数のピンユニットと、対応するピンユニットについてのテストの終了を示す信号を他のピンユニットと独立して発生するテスト終了信号発生器と、イベント型テストシステムの全体的動作を制御するシステムコントローラとを有する。各ピンユニットのテスト終了信号は、システムコントローラにより指定された条件により選択され、その選択されたテスト終了信号は、システムコントローラ及び他のピンユニットに供給される。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスをテストするためのイベント型半導体テストシステムにおいて、互いに独立して動作することができ、被試験デバイス(DUT)をテストするために、デバイスピンに割り当てられる複数のピンユニットであって、その各ピンユニットは、対応するデバイスピンに印加するテスト信号を形成するためのイベントタイミングデータを格納するイベントメモリと、そのピンユニットの全体動作を制御するとともに、イベントメモリからのイベントタイミングデータに基づいてテスト信号を生成し、DUTの応答出力を評価するイベントコントローラと、により構成され、対応するピンユニットについての現在実行しているテストの終了を示すテスト終了信号を発生するためのテスト終了信号発生手段であり、そのテスト終了信号は、他のピンユニットのテスト終了信号と互いに独立して発生され、各ピンユニット内のイベントコントローラと通信し、イベントタイミングデータを含むテストプログラムを各ピンユニット内のイベントメモリに供給することにより、イベント型テストシステムの全体的動作を制御するシステムコントローラと、により構成され、各ピンユニットのテスト終了信号は、システムコントローラにより指定された条件により選択され、その選択されたテスト終了信号は、システムコントローラ及び他のピンユニットに供給されることを特徴とするイベント型半導体テストシステム。

IPC (2件)：

G01R 31/28 , G01R 31/3183

FI (2件)：

G01R 31/28 H , G01R 31/28 Q

Fターム (5件)：

2G132AE10 , 2G132AE22 , 2G132AG01 , 2G132AL09 , 2G132AL26

引用特許：

審査官引用 (1件)

半導体装置の電気的特性検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-275941 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

前のページに戻る