安全検出型薬液供給装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：豊田武久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204273
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015082
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体製造設備におけるウェハ洗浄工程などで使用される危険な薬液を自動供給する装置として、安定して安全に薬液を自動供給し得るものを提供する。【解決手段】薬液圧送用タンク内に高純度窒素ガス等の圧送用ガスを送り込み、そのガス圧力により薬液をタンクから送り出して使用箇所へ供給するようにした薬液供給装置において、ガス供給管路にガス流量検出手段およびガス圧力検出手段を設け、かつガス供給管路および薬液送り出し管路に自動開閉弁を設けて、圧送用ガスの流量、圧力の検出データに基いて自動開閉弁を制御して、薬液供給を停止するようにした。さらにガス流量、ガス圧力を自動計測してそのデータを自動記録し、各計測データからそれぞれの平均値及び分散値を求め、その平均値と最新データとを比較して異常信号を発生し、薬液の供給を停止するようにした。

請求項（抜粋）：

薬液を収容した圧送用タンク内に圧送用ガス源からガス供給管路を介して圧送ガスを送り込んで、その圧送用ガスの圧力により薬液を圧送用タンクから薬液送り出し管路を介して薬液使用箇所へ供給するようにした薬液供給装置において、前記ガス供給管路に、その管路内を流れる圧送用ガスの圧力を計測するためのガス圧力検出手段および圧送用ガスの流量を計測するためのガス流量検出手段とを設け、かつ前記ガス供給管路および薬液送り出し管路にそれぞれ自動開閉弁を設けて、前記ガス圧力検出手段およびガス流量検出手段による検出データに基いて前記各自動開閉弁を制御して、薬液供給を制御するように構成したことを特徴とする、安全検出型薬液供給装置。

IPC (5件)：

B01J 4/02 , B08B 3/08 , G05D 7/00 , G05D 16/00 , H01L 21/304 648

FI (5件)：

B01J 4/02 B , B08B 3/08 Z , G05D 7/00 Z , G05D 16/00 J , H01L 21/304 648 G

Fターム (38件)：

3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB01 , 3B201BB62 , 3B201BB92 , 3B201CD42 , 3B201CD43 , 4G068AA02 , 4G068AB15 , 4G068AC05 , 4G068AD40 , 4G068AE01 , 4G068AF01 , 4G068AF25 , 4G068AF31 , 4G068AF36 , 5H307AA20 , 5H307BB05 , 5H307CC12 , 5H307DD17 , 5H307EE38 , 5H307ES02 , 5H307FF12 , 5H307FF23 , 5H307GG01 , 5H307GG13 , 5H307HH04 , 5H307HH08 , 5H307JJ01 , 5H307KK08 , 5H316AA20 , 5H316BB02 , 5H316CC04 , 5H316DD17 , 5H316EE10 , 5H316FF01 , 5H316FF22 , 5H316KK02

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-244333
特開昭61-015729
特開昭60-244333

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