特許

J-GLOBAL ID：200903099907441433

ハイブリッド型ヨンセン-ラーベク静電チャック及びその製造方法

発明者： グリマード, デニス, エス. ,  パーキー, ヴィジェイ ,  レヴィンシュタイン, ハイマン ,  チャン, フセン ,  チャフィン, マイケル, ジー.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-513317
公開番号（公開出願番号）：特表2001-517872
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】クーロン力によるチャックメカニズムとヨンセン-ラーベク効果によるチャックメカニズムの組み合わせを提供し、チャックの支持面(110)の特定の領域上に堆積される複数の誘電体メサ(106)を有する、ヨンセン-ラーベク静電チャック。チャックの本体(102)は概して、ヨンセン-ラーベク半伝導性誘電体によって造られる。メサ(106)は、抵抗率の高い誘電体の薄膜堆積により形成される。従って、抵抗率の高い薄膜により、過剰なDC待機電力を防止し、同時に、静電チャックの性能のウエハ裏面の形態性や組成に対する依存性を低減することになる。

請求項（抜粋）：

ワークピースをワークピース支持チャックの支持面に対して間隔をおいた関係で保持するための装置であって、 抵抗率の比較的低い材料で作製され、支持面を有するチャック本体と、 抵抗率の高い誘電材料で作製され、チャック本体の支持面の上に配置される複数の個別的なメサとを備える装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

Fターム (18件)：

3C016GA10 ,  5F004AA01 ,  5F004BA03 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA17 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電力低減のためのパターン付きサセプタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-120230   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド