特許
J-GLOBAL ID:200903099918570413

表面被覆膜の局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-059225
公開番号(公開出願番号):特開平8-292156
出願日: 1996年03月15日
公開日(公表日): 1996年11月05日
要約:
【要約】【課題】 いかなるタイプの点状の被覆欠陥をも信頼性高く認識し、客観的な基準を用いてこれら被覆欠陥を評価する。【解決手段】 カラービデオカメラ12、13、14、15によってガラス板1上の反射性表面被覆膜3の局所的な色の欠陥を認識し、該欠陥を評価する。このために白色光を用いて被覆ガラス板に光を当て、表面被覆膜で反射した光を投影スクリーン6上に映し出す。投影スクリーン上に現れた画像は一つ以上のカラービデオカメラによって取り込まれる。カラービデオカメラにより取り込まれる表面の三原色ごとに、各画素に対する輝度を決定する。対応した画素における三原色の輝度値の合計で各原色の決定した輝度値を除算することにより相対色分数を決定する。相対色分数は設定値と比較される。
請求項(抜粋):
ビデオカメラから送られてきた画像をデジタルデータ処理することにより基板上の表面被覆膜の局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法において、上記被覆された基板に可視スペクトル範囲の広帯域光、好ましくは白色光を当て、上記ビデオカメラとしてカラービデオカメラを使用し、各画素の三原色ごとの輝度値を検出し、該三原色の輝度値の合計で各原色の輝度値を除算することにより各画素の各原色に対する相対色分数を決定し、該相対色分数を所定値と比較してデジタルデータ処理を行うことを特徴とする認識および評価方法。
IPC (4件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/42
FI (4件):
G01N 21/88 D ,  G01B 11/30 G ,  G01J 1/02 T ,  G01J 1/42 K
引用特許:
審査官引用 (8件)
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