特許
J-GLOBAL ID：200903099926253877

XYテーブル駆動機構

発明者：
竹原 紳浩

竹原 紳浩 について

, 
牧野 誠

牧野 誠 について


出願人/特許権者：
エヌイーシーマシナリー株式会社

エヌイーシーマシナリー株式会社 について


代理人 (1件)： 江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285504
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092337
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 XY移動テーブルの小ストロークの高速移動が可能な小形軽量で安価なXYテーブル駆動機構。【解決手段】 X方向に揺動するX軸レバー31とY方向に揺動するY軸レバー41で移動テーブル10をバネ材50による引っ張り弾力に抗してXY直交二方向に移動させる機構で、X軸レバー31の先端部に従動ローラ34と押圧ローラ35を同軸に取付け、従動ローラ34をX軸モータ36で回転駆動する偏心カム38で従動回転させてX軸レバー31にX方向に押圧力を付勢し、この押圧力で押圧ローラ35を非回転状態で移動テーブル10の側面に押圧してX方向に移動させる。同様のことをY軸側でも行うようにして、単一の移動テーブル10をXY方向に移動させる。
請求項（抜粋）：
移動テーブルを直交するX方向及びY方向に往復移動可能に支持するテーブルガイドと、このテーブルガイドの側方定位置にX方向に往復揺動可能に設置され、移動テーブル側への揺動時に移動テーブルをX方向に押圧して移動させるX軸レバー及びこのX軸レバーを揺動させるX軸モータを有するX軸駆動ユニットと、前記テーブルガイドの側方定位置にY方向に往復揺動可能に設置され、移動テーブル側への揺動時に移動テーブルをY方向に押圧して移動させるY軸レバー及びこのY軸レバーを揺動させるY軸モータを有するY軸駆動ユニットと、移動テーブルにこの移動テーブルをX軸レバー及びY軸レバーの双方側に押し付ける方向で弾力を常時付勢するバネ材とを具備したことを特徴とするXYテーブル駆動機構。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (3件)：
5F031LA06 ,  5F031LA07 ,  5F046CC18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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