特許

J-GLOBAL ID：200903099973541597

電極を有する基板並びにそれを用いた検査治具、検査装置及びアダプタ装置

発明者： 井上 和夫
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大渕 美千栄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-005348
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194417
出願日： 2000年01月14日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 電極を有する基板の変形を防ぐことが可能な電極を有する基板を提供すること。【解決手段】 電極を有する基板100は、回路基板10とフレキシブル基板30との間に異方導電性弾性体シート20を備えている。異方導電性弾性体シート20の弾性力により、フレキシブル基板30の弾性係数、熱膨張係数等と回路基板10のそれらとの違いから生じる応力が原因となる電極を有する基板100の変形を小さくすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

フレキシブル基板と、異方導電性弾性体シートと、回路基板と、を備え、前記異方導電性弾性体シートは、絶縁性シートと、前記絶縁性シートに局所的に形成され、かつ電気的接点となる導電部と、を有し、前記フレキシブル基板は端子電極を有し、前記回路基板はコネクタ電極を有し、前記異方導電性弾性体シートは前記回路基板と前記フレキシブル基板との間に位置し、前記コネクタ電極と前記端子電極とは前記導電部を介して電気的に接続されている、電極を有する基板。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  H01R 11/01

FI (3件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 A ,  H01R 11/01 K

Fターム (16件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG07 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA10 ,  2G011AA15 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AD01 ,  2G011AE22 ,  2G011AF06 ,  2G011AF07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体素子検査装置および検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-084972   出願人：ジェイエスアール株式会社