特許
J-GLOBAL ID：200903099981817135
赤外顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018077
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202211
出願日： 1998年01月12日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 比較的短い時間で高精度に異物等の分析を行なうことのできる赤外顕微鏡を提供する。【解決手段】 面分析を粗密2段階で行なう。すなわち、まず、試料の指定された範囲(S1)内を2次元走査し、各微小領域において短時間且つ低精度の条件で粗測定を行なう(S2、S3)。この粗測定で得られたデータより、最大の特性値(グラムシュミット値、指定範囲内の吸光度等)を有する点を検出する(S4)。そして、この点の近傍の上記指定範囲よりも狭い範囲内の各微小領域(S5)を2次元走査し、長時間且つ高精度の条件で精密測定を行う(S6)。
請求項（抜粋）：
試料表面を2次元的に走査しつつ、各微小領域の赤外線分析を行う機能を有する赤外顕微鏡において、a)試料の指定された範囲内の上記各微小領域を2次元走査し、短時間且つ低精度の第1条件で測定を行う粗測定手段と、b)粗測定手段により得られたデータより、最大の特性値を有する微小領域を検出する最大値検出手段と、c)検出された最大値を有する微小領域の近傍の上記指定範囲よりも狭い範囲内の各微小領域を2次元走査し、長時間且つ高精度の第2条件で測定を行う精密測定手段と、d)上記粗測定手段、最大値検出手段及び精密測定手段を用いて、試料表面の目的位置の近傍の面分析を行なう制御手段と、を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。
引用特許：
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