用語

J-GLOBAL ID：200906004330335094

容量結合高周波放電

プラズマ
同義語 (2件)：

容量結合放電 (capacitively coupled discharge)
容量結合放電について
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容量結合型放電 (capacitively coupled discharge)
容量結合型放電について
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上位語 (1件)：

高周波放電 (high frequency discharge)
高周波放電について
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