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J-GLOBAL ID：200906008251254076

DRIE【エッチング】

電子素子
同義語 (2件)：

深掘りRIE (deep reactive ion etching)
深掘りRIE について
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高アスペクト比エッチング (deep reactive ion etching)
高アスペクト比エッチングについて
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上位語 (1件)：

RIE【エッチング】 (RIE)
RIE【エッチング】について
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