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J-GLOBAL ID:202206013672680780
容量結合RFプラズマ
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用語の主な分野です
プラズマ
関連語 (2件):
静電容量
(electrostatic capacity)
静電容量 について
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RF放電
(radiofrequency discharge)
RF放電 について
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上位語 (1件):
プラズマ
(plasma)
プラズマ について
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