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J-GLOBAL ID：201002002961212443   整理番号：79A0013013

基板上の電子レジスト膜における吸収エネルギー密度の三次元的計算

A three-dimensional study of the absorbed energy density in electron-resist films on substrates.

著者 (5件)： MURATA K ,  NOMURA E ,  NAGAMI K ,  KATO T ,  NAKATA H
資料名： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 17  号： 10  ページ： 1851-1860  発行年： 1978年 
JST資料番号： G0520A  CODEN： JJAPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビーム・リソグラフィーにおける基板上のポリマー膜の吸収エ...

シソーラス用語： 電子ビーム ,...

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タイトルに関連する用語 (4件)： 電子 ,  レジスト膜 ,  エネルギー密度 ,  計算