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J-GLOBAL ID：201002007917719842   整理番号：80A0111861

高速バイポーラ素子の分離用高圧酸化

High pressure oxidation for isolation of high speed bipolar devices.

著者 (7件)： TSUKAMOTO K (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  AKASAKA Y (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  MIYOSHI Y (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  TSUBOUCHI N (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  HORIBA Y (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  KIJIMA K (Mitsubishi Electric Corp., Itami) ,  NAKATA H (Mitsubishi Electric Corp., Itami)
資料名： Tech Dig Int Electron Devices Meet  (International Electron Devices Meeting)
巻： 1979  ページ： 340-343  発行年： 1979年 
JST資料番号： C0829B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚い電界酸化でも短時間で済むので埋込みコレクタの不純物の再分...

シソーラス用語： バイポーラ集積回路 ,...

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タイトルに関連する用語 (3件)： バイポーラ ,  高圧 ,  酸化