シリコンウエハ上に作成したガスクロマトグラフィー空気分析装置

TERRY S C; JERMAN J H; ANGELL J B

文献

J-GLOBAL ID：201002015913119266 整理番号：80A0112917

シリコンウエハ上に作成したガスクロマトグラフィー空気分析装置

A gas chromatographic air analyzer fabricated on a silicon wafer.

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資料名：
巻： 26 号： 12 ページ： 1880-1886 発行年： 1979年
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

シリコンの化学エッチングの方向性を利用して写真食刻法と合せて...

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