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J-GLOBAL ID：201002017497338827 整理番号：79A0205786
真空蒸着
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著者 (1件)：
山本寛
山本寛 について
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(
東京工大
)
東京工大 について
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資料名：
金属表面技術 (Journal of the Metal Finishing Society of Japan)
金属表面技術 について
JST資料番号 G0441A ですべてを検索
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巻：
30
号：
5
ページ：
225-231
発行年：
1979年
JST資料番号：
G0441A
ISSN：
0026-0614
CODEN：
KZHGA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
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標記法の特徴と抵抗加熱型蒸着ならびに電子ビーム蒸着での蒸発源...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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引用文献 (31件)：
1) 例えば L. Holland; Vacuum Deposition of Thin Films, (1956, Chapman & Hall)
中村一男; 真空工業概論 (1964, 日刊工業)
沢木司; 真空蒸着 (1965, 日刊工業)
日本学術振興会編; 薄膜工学ハンドブック (1974, オーム社)
金原粲; 薄膜の基本技術 (1976, 東京大学出版会)
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