文献
J-GLOBAL ID：201002022676055084   整理番号：78A0339587

高精度電子ビーム露光装置EB52

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0339587&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0137A") }}
著者 (5件)：
藤波明平

藤波明平 について

(電電公社)

電電公社 について

, 
柴山昭則

柴山昭則 について

(電電公社)

電電公社 について

, 
守屋茂

守屋茂 について

(電電公社)

電電公社 について

, 
岩田あつし

岩田あつし について

(電電公社武蔵野電通研)

電電公社武蔵野電通研 について

, 
竜野剛一

竜野剛一 について

(電電公社)

電電公社 について


資料名：
電気通信研究所. 研究実用化報告  (電気通信研究所研究実用化報告)

電気通信研究所. 研究実用化報告 について


巻： 27  号： 9  ページ： 2085-2100  発行年： 1978年 
JST資料番号： F0137A  CODEN： DTKKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電子線によるマスク露光および直接露光をLSI試作ラインに導入...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
電子ビーム加工

電子ビーム加工 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=78A0339587&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0137A") }}
タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
電子ビーム露光装置

電子ビーム露光装置 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM