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J-GLOBAL ID：201106002508173650

電子ビーム露光装置

電子素子
同義語 (2件)：

電子露光装置
電子露光装置について
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EB露光装置
EB露光装置について
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関連語 (1件)：

電子ビームリソグラフィー (electron beam lithography)
電子ビームリソグラフィーについて
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上位語 (1件)：

装置 (equipment)
装置について
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