熱電界放出源の高分解能高電流電子線マイクロプローブへの応用

TUGGLE D; SWANSON L W; ORLOFF J

文献

J-GLOBAL ID：201002024400705371 整理番号：80A0257847

熱電界放出源の高分解能高電流電子線マイクロプローブへの応用

Application of a thermal field emission source for high resolution, high current e-beam microprobes.

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巻： 16 号： 6 ページ： 1699-1703 発行年： 1979年
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

2つの磁気レンズを用いたマイクロプローブに熱電界放出(TFE...

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