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J-GLOBAL ID：201002028171063447   整理番号：80A0063923

等価膜理論による粗界面をもつ基板-薄膜系の偏光解析

Ellipsometric investigations of a substrate-thin film system with rough boundaries using the equivalent film theory.

著者 (1件)： BRUDZEWSKI K (Technical Univ. Warsaw, Poland)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 61  号： 2  ページ： 183-191  発行年： 1979年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  CODEN： THSFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光波長の大きさ以下の粗さをもつ表面は基板-環境間に,ある厚み...

シソーラス用語： 偏光解析法 ,...

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タイトルに関連する用語 (5件)： 等価 ,  膜理論 ,  界面 ,  薄膜 ,  偏光解析