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J-GLOBAL ID:201002038715094320   整理番号:80A0109297

高精度計測法へのマイクロデンシトメータの応用

Use of microdensitometers as a basis for highly accurate metrology.
著者 (2件):
資料名:
巻: 18  号:ページ: 483-485  発行年: 1979年 
JST資料番号: B0577B  ISSN: 0036-1860  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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従来のマイクロデンシトメータの原理を用いて,二次元物体をより...
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