WSi<sub>2</sub>の熱酸化の動力学

MOHAMMADI F; SARASWAT K C; MEINDL J D

文献

J-GLOBAL ID：201002044342282326 整理番号：80A0017093

WSi₂の熱酸化の動力学

Kinetics of the thermal oxidation of WSi₂.

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資料名：
巻： 35 号： 7 ページ： 529-531 発行年： 1979年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

WSi₂薄膜を(100)Siおよび酸化...

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WSi2の熱酸化の動力学

WSi₂の熱酸化の動力学