OKUNEV V D について
Inst. Mechanics, Academy of Sciences of the Ukrainian SSR, USSR について
YUROV A G について
Inst. Mechanics, Academy of Sciences of the Ukrainian SSR, USSR について
Sov Tech Phys Lett について
スパッタリング について
ターゲット について
スパッタリング について
非晶質薄膜 について
組成 について
コントロール について