サファイア上にrfスパッタしたZnO単結晶薄膜の構造とSAWの性質

MITSUYU T; ONO S; WASA K

文献

J-GLOBAL ID：201002056626920860 整理番号：80A0353246

サファイア上にrfスパッタしたZnO単結晶薄膜の構造とSAWの性質

Structures and SAW properties of rf-sputtered single-crystal films of ZnO on sapphire.

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資料名：
巻： 51 号： 5 ページ： 2464-2470 発行年： 1980年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

エピタキシャル膜の成長条件とその結晶構造を述べ,サファイアの...

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