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J-GLOBAL ID:201002066716734696   整理番号:80A0085054

重合体のプラズマエッチングの研究 I プラズマエッチングによる重合体の構造変化

Untersuchungen zur Plasmaaetzung von Polymeren. I. Strukturaenderungen von Polymeren nach Plasmaaetzung.
著者 (3件):
資料名:
巻: 30  号:ページ: 470-477  発行年: 1979年 
JST資料番号: B0525A  ISSN: 0014-8628  CODEN: FSTXA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 東ドイツ (DDR)  言語: ドイツ語 (DE)
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ポリエチレンおよびポリエチレンテレフタレート薄膜を各種気体(...
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