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J-GLOBAL ID：201002074565915807   整理番号：77A0383964

高周波反応性イオンプレーティングによるモリブデン上への窒化シリコン被覆

Silicon nitride coatings on molybdenum by RF reactive ion plating.
著者 (4件)：
FUKUTOMI M

FUKUTOMI M について

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KITAJIMA M

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OKADA M

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WATANABE R

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資料名：
J Electrochem Soc  (Journal of the Electrochemical Society)

J Electrochem Soc について


巻： 124  号： 9  ページ： 1420-1424  発行年： 1977年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 0013-4651  CODEN： JESOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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イオンめっき

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