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J-GLOBAL ID：201002077527651986   整理番号：78A0316246

高速図形演算プロセッサの電子ビーム露光装置への応用

著者 (7件)： 首藤友喜 (日本電気中研) ,  加須屋義弘 (日本電気中研) ,  渡辺順正 (日本電気中研) ,  菊池喜康 (日本電気中研) ,  松田維人 (電電公社武蔵野電通研) ,  大しば央 (電電公社武蔵野電通研) ,  吉田和衛 (電電公社武蔵野電通研)
資料名： 情報処理学会全国大会講演論文集  (情報処理学会大会講演予稿集)
巻： 18th  ページ： 133-134  発行年： 1977年 
JST資料番号： S0731A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高速図形演算プロセッサ(HAU)は電子ビーム露光システムの性...

シソーラス用語： 電子ビーム ,...

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タイトルに関連する用語 (4件)： 図形 ,  演算プロセッサ ,  電子ビーム露光装置 ,  応用