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J-GLOBAL ID：201002078455344869   整理番号：77A0363894

高感度顕微干渉法の研究 モアレ観測型および多光束型干渉法

著者 (2件)： 和田尚 (東京都大・工) ,  平林次夫 (東京都大・工)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 43  号： 10  ページ： 1155-1160  発行年： 1977年 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高感度顕微干渉計のくり返し反射に特有な横ずれ現象や,しまの読...

シソーラス用語： 干渉計 ,...

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引用文献 (10件)：

• 1) 和田 尚, 平林次夫 : 高感度顕微干渉法の研究, 精密機械, 41, 10 (1975) 971.
• 2) P. H. Langenbeck : Multipass Interferometry, Appl. Optics, 8, 3, (1969).
• 3) 和田 尚 : モアレ縞による光切断法機械の研究, 21, 11 (1969).
• 4) 沢辺雅二ほか : 知りたい測定の自動化, ジャパン・マシニスト社 (1971).
• 5) S. Tolansky : Multiple-beam Interferometry of Surfaces and Films, Oxford, (1948).

タイトルに関連する用語 (6件)： 高感度 ,  干渉法 ,  研究 ,  モアレ ,  観測 ,  光束