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J-GLOBAL ID:201002080484458800 整理番号:79A0133466
rfプラズマ励起
Radio frequency plasma excitation.
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著者 (2件):
BURDEN M St J
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資料名:
Vacuum (Vacuum)
Vacuum について
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巻:
29
号:
1
ページ:
13-14
発行年:
1979年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
CODEN:
VACUA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
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