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J-GLOBAL ID：201002086922784382   整理番号：80A0253892

油圧シリンダ駆動による精密移動機構

著者 (4件)： 井戸敏 (電電公社武蔵野電通研) ,  露ざき晴夫 (電電公社武蔵野電通研) ,  高本喜一 (電電公社武蔵野電通研) ,  小また富士夫 (電電公社武蔵野電通研)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 46  号： 6  ページ： 734-740  発行年： 1980年 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子ビーム露光装置用試料移動機構の高速化,高精度化,高信頼化...

シソーラス用語： 油圧機器 ,...

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引用文献 (5件)：

• 1) A. D. Wilson et al. : Automation of Vector Scan I, Electron Beam Lithographic System, 7th Int. Conf. Electron and Ion Beam Sci. Tech., May (1976) 361.
• 2) D. R. Herriott et al. : EBES, A Practical Electron Lithographic System, IEEE Trans. Electron Devices, ED-22, 7, July (1975) 385.
• 3) 藤波明平ほか : 高精度電子ビーム露光装置EB-52, 電気通信研究所研究実用化報告, 27, 9 (1978) 2085.
• 4) O. Cohen et al. : Automatic Control of an Electron Beam Pattern Generator, 5th Int. Conf. Electron and Ion Beam Sci. Tech., May (1972) 92.
• 5) 油圧技術便覧編集委員会編 : 油圧技術便覧, 日刊工業新聞社 (1976) 625.

タイトルに関連する用語 (1件)： 油圧シリンダ