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J-GLOBAL ID：201002089754353833   整理番号：77A0346935

スパッタリングによる希土類-鉄系ガーネット薄膜の組成のずれについて

著者 (3件)： 山中俊一 (東工大・工) ,  直江正彦 (東工大・工) ,  星陽一 (東工大・工)
資料名： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
巻： 60-C  号： 7  ページ： 399-406  発行年： 1977年 
JST資料番号： S0623A  ISSN： 0373-6113  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 希土類-鉄系ガーネットRIG(R=Y,Sm,Gd,Dyまたは...

シソーラス用語： 磁性薄膜 ,...

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タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタリング ,  希土類 ,  鉄 ,  ガーネット ,  薄膜 ,  組成