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J-GLOBAL ID:201002094893274500   整理番号:78A0337402

(100)Siの異方性エッチングによる高精度ノズルの作製

The fabrication of high precision nozzles by the anisotropic etching of (100) silicon.
著者 (2件):
資料名:
巻: 125  号:ページ: 1321-1327  発行年: 1978年 
JST資料番号: C0285A  ISSN: 0013-4651  CODEN: JESOA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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