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J-GLOBAL ID：201002095163728200   整理番号：80A0109684

低エネルギー電子ビームと有機レジストとの相互作用のBethe-Blochモデルに対する実験的テスト

Experimental test of the Bethe-Bloch model in the interaction of a low-energy electron beam with an organic resist.

著者 (2件)： MARGOLIN V I (V.I. Ul’yanov (Lenin) Leningrad Electrotechnical Inst.) ,  GUROV S A (V.I. Ul’yanov (Lenin) Leningrad Electrotechnical Inst.)
資料名： Sov Tech Phys Lett  (Soviet Technical Physics Letters)
巻： 5  号： 3  ページ： 132-133  発行年： 1979年 
JST資料番号： H0665A  ISSN： 0360-120X  CODEN： STPLD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子線照射した有機レジストを走査型電子顕微鏡で観察して,電子...

シソーラス用語： 電子照射 ,...

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タイトルに関連する用語 (7件)： 低エネルギー ,  電子ビーム ,  レジスト ,  相互作用 ,  モデル ,  実験 ,  テスト