Cu電気めっき過程における電解によるポリエチレングリコールの分解  併用した実験的および密度汎関数法の研究

WON Yong Sun; CHO Donghyun; KIM Yunhee; LEE Jinuk; PARK Sung Soo

文献

J-GLOBAL ID：201002200041338611 整理番号：10A0714070

Cu電気めっき過程における電解によるポリエチレングリコールの分解併用した実験的および密度汎関数法の研究

Degradation of Poly(ethylene glycol) by Electrolysis During the Cu Electroplating: A Combined Experimental and Density Functional Theory Study

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資料名：
巻： 117 号： 4 ページ： 2083-2089 発行年： 2010年08月15日
JST資料番号： C0467A ISSN： 0021-8995 CODEN： JAPNAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Cu電気めっき過程においてCu堆積を制御するために重要な重合体添加物である水溶性ポリエチレングリコール(PEG)のCu電気めっき過程における,電解による分解挙動をMALDI-TOF-MS法実験により研究した。PEGは13mA/cm²の一定電流密度で4時間後に完全に分解したが,電場なしではpHの影響はなかった。同時に,塩化物水溶液の電解によるPEG分解の経路とエネルギーを密度汎関数法計算により研究した。電場下,陽極で生成したヒドロキシルラジカルによるPEGにおけるメチル基からの水素引抜きが起こり,生成したPEG内部ラジカルの分解がいかに容易であるかが明らかになった。

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高分子の分解,劣化 , 電気めっき

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Cu電気めっき過程における電解によるポリエチレングリコールの分解 併用した実験的および密度汎関数法の研究

Cu電気めっき過程における電解によるポリエチレングリコールの分解併用した実験的および密度汎関数法の研究