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J-GLOBAL ID：201002204230320770   整理番号：10A0611775

CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第4報)-白金微粒子導入により作製した変質部の評価-

Laser Induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW-LBI)-A study on the Modification Induced by Platinum Particle Migration-

著者 (3件)： 山崎貴斗 (東京工大 大学院) ,  比田井洋史 (東京工大 大学院) ,  戸倉和 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 6  ページ： 668-672  発行年： 2010年06月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 透明材料内部に高エネルギーのレーザ光を集光することで内部に変質部やダメージを形成できる。化学的,物理的安定性に優れ,高い透明性を有することから,透明材料の中でもガラスが多く用いられている。本研究ではレーザ背面照射法によりガラス内部に白金微粒子を導入し,その軌跡に形成される変質部の形状,物性について評価した。これにより得た主な知見を次に示した。1)白金微粒子の移動に必要なレーザフルエンスは0.3±0.06MW/cm²であり,照射条件を変化させることで所望の位置まで変質部を作製できること,2)レーザフルエンスを大きくすることで白金微粒子の移動速度が上昇し,その速度は0.1mm/s~10mm/sの範囲で変えられること,3)変質部での組成変化は認められないこと,4)変質部の中心部分はエッチレートが低くなっており,フッ化水素酸でエッチングすることで,直径40μm,高さ1μm程度の突起形状を形成できること,5)レーザ照射方向を変えることで,曲がった変質部が作製できること。

シソーラス用語： *ガラス ,  *レーザ加工 ,  レーザ照射 ,  *加工変質層 ,  *白金 ,  *微粒子 ,  *ドーピング ,  連続レーザ ,  フルエンス ,  ホウケイ酸ガラス ,  改質
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  パイレックスガラス

分類 (3件)： ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (11件)：

• 1) R. R. Gattass and E. Mazur : Femtosecond Laser Micromachining in Transparent Materials, Nature Photonics 2, 4 (2008) 219.
• 2) K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto and K. Hirao : Writing Waveguides in Glass with a Femtosecond Laser, Opt. Lett. 21, 21 (1996) 1729.
• 3) http://www.kkvp.jp/kigyo/sanjigen/.
• 4) M. Yoshioka, Z. Gu, H. Hidai and H. Tokura : Laser Induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW-LBI) : Conditions for Inducing Modification by CW-LBI, J. Jpn. Soc. Precis. Eng., 72, 9 (2006) 1118. (in Japanese)
• 5) H. Takayanagi, M. Yoshioka, H. Hidai and H. Tokura : Laser-induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW LBI) : Evaluation of Modified Glasses, J. Jpn. Soc. Precis. Eng., 73, 12 (2007) 1330. (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (9件)： CWレーザ ,  背面 ,  CW ,  ガラス ,  変質 ,  白 ,  金微粒子 ,  作製 ,  評価