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J-GLOBAL ID：201002208249129448   整理番号：10A1121951

ポリメタクリル酸メチル薄膜の構造緩和挙動

著者 (6件)： 新史紀 (九大 大学院) ,  藤井義久 (九大 大学院) ,  田中敬二 (九大 大学院) ,  森田裕史 (産業技術総合研) ,  日野正裕 (京大) ,  芹澤武 (東大 先端科学技研セ)
資料名： レオロジー討論会講演要旨集  (レオロジー討論会講演要旨)
巻： 58th  ページ： 260-261  発行年： 2010年 
JST資料番号： L0844A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,  *高分子薄膜 ,  *構造緩和 ,  *固液界面 ,  *膨潤 ,  環境 ,  屈折率 ,  光学定数 ,  偏光解析法 ,  ウエハ【IC】 ,  含水量 ,  スピンコーティング ,  熱処理 ,  アルキルベンゼン ,  水環境 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： Si基板

分類 (3件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  固-液界面  (CB12050B) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリメタクリル酸メチル ,  薄膜 ,  構造緩和 ,  挙動