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J-GLOBAL ID：201002210281582876   整理番号：10A0462331

レーザテラヘルツエミッション顕微鏡のLSI故障解析への応用

著者 (10件)： 松本徹 (浜松ホトニクス) ,  山下将嗣 (理研 基幹研) ,  大谷知行 (理研 基幹研) ,  KIM S. (大阪大) ,  村上博成 (大阪大) ,  斗内政吉 (大阪大) ,  御堂義博 (大阪大) ,  三浦克介 (大阪大) ,  中前幸治 (大阪大) ,  二川清 (NECEL)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th  ページ： ROMBUNNO.18P-M-8  発行年： 2010年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 電磁波 ,  電磁波放射 ,  *LSI【IC】 ,  *故障解析 ,  放出形顕微鏡 ,  *パルスレーザ照射 ,  検出 ,  光電流 ,  レーザ応用 ,  パルスレーザ ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： 電磁波検出

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 顕微鏡 ,  LSI ,  故障解析 ,  応用