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J-GLOBAL ID：201002216632913708   整理番号：10A1456375

イリジウムの原子層沈着(ALD)における前駆体としての(MeCp)Ir(CHD)及び酸素分子

(MeCp)Ir(CHD) and molecular oxygen as precursors in atomic layer deposition of iridium

著者 (7件)： HAEMAELAEINEN Jani (Univ. Helsinki, FIN) ,  HATANPAEAE Timo (Univ. Helsinki, FIN) ,  PUUKILAINEN Esa (Univ. Helsinki, FIN) ,  COSTELLE Leila (Univ. Helsinki, FIN) ,  PILVI Tero (Univ. Helsinki, FIN) ,  RITALA Mikko (Univ. Helsinki, FIN) ,  LESKELAE Markku (Univ. Helsinki, FIN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 20  号： 36  ページ： 7669-7675  発行年： 2010年09月28日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記前駆体を全収率80%で合成した。その化合物は通常のIr ALD前駆体Ir(acac)₃よりも低い融点をもち,より揮発性である。Ir薄膜を,225と350°Cの間の温度で逐次的に合成Ir前駆体と酸素分子を用いて沈着させた。(MeCp)Ir(CHD)の部分的分解により膜表面にいくらかの欠陥が生じる。膜の粗雑度は沈着温度の増大とともに顕著に減少するが275と300°Cの温度域では良好な品質のIr薄膜が得られる。50nmの膜厚と1.2nmの粗雑度は約3atm%の酸素,0.6at%のカーボン及び1.6at%の水素不純物を含むが抵抗率は9μΩ cmと低い。

シソーラス用語： *イリジウム ,  化学蒸着 ,  *前駆体 ,  *イリジウム錯体 ,  酸素 ,  二原子分子 ,  脂環式炭化水素 ,  薄膜 ,  脂環式化合物 ,  走査電子顕微鏡 ,  電界放出型走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： FE-SEM ,  原子層蒸着

分類 (4件)： 白金族元素の錯体  (CE01100E) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  単環脂環式化合物一般  (CF04010E)

物質索引 (2件)： 1,5-シクロオクタジエン ,  1-メチル-2,4-シクロペンタジエン

タイトルに関連する用語 (8件)： イリジウム ,  原子層 ,  沈着 ,  ALD ,  前駆体 ,  Ir ,  CHD ,  酸素分子