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J-GLOBAL ID：201002217014805186   整理番号：10A0328661

酸化アルミニウムバッファ層を用いるアルコールガスソース法による単層カーボンナノチューブ成長に及ぼすバッファ厚さの効果

Effect of Buffer Thickness on Single-Walled Carbon Nanotube Growth Using Aluminum Oxide Buffer Layer with Alcohol Gas Source Method

著者 (4件)： SATO Kuniori (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  SHIRAIWA Tomoyuki (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  MARUYAMA Takahiro (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  NARITSUKA Shigeya (Meijo Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 6  ページ： 3929-3933  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co/Al₂O_x触媒をSiO₂(100nm)/Si基板上に形成させた。Alをプラズマ曝露後,空気酸化によりAl₂O_xを形成させた後,室温で電子ビーム蒸着させ,Co/Al₂O_x膜を形成させた。これを触媒に用いて10^-1Paの圧力でエタノールから触媒CVDにより垂直整列の単層カーボンナノチューブ(SWNT)を作製した。Co粒子の粒径はAl₂O_xバッファ層の厚さに依存し,バッファ層厚さが厚くなると,SWNTの収率が低下した。これはCoがバッファ層に拡散するためと考察した。

シソーラス用語： *酸化アルミニウム ,  *バッファ層 ,  *電子ビーム蒸着 ,  触媒調製 ,  コバルト ,  *化学蒸着 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  *担持触媒 ,  基板 ,  ケイ素 ,  依存性 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： *触媒CVD ,  膜厚依存性

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化アルミニウム ,  バッファ層 ,  単層カーボンナノチューブ ,  成長 ,  バッファ ,  厚さ