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J-GLOBAL ID:201002217689642359   整理番号:10A0134498

GaN系発光ダイオードのOhm接触技術: P型接触の役割

Ohmic-Contact Technology for GaN-Based Light-Emitting Diodes: Role of P-Type Contact
著者 (3件):
資料名:
巻: 57  号:ページ: 42-59  発行年: 2010年01月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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照明用GaN系発光ダイオード(LED)の作製には,MOCVD成長によるp型GaNに対し,接触抵抗の低い高品質のOhm接触を開発する必要がある。この論文では,低抵抗p型Ohm接触技術の開発における最近の進歩を概説した。大きな仕事関数をもつ金属,表面処理,超格子および歪層,中間層の利用など,透明Ohm接触および反射形Ohm接触を形成するためのさまざまな方法を紹介した。高パワー縦型LEDの開発には,内部量子効率の向上に加えて,外部量子効率の向上(すなわちOhm接触の性質の改善)が必要とされる。
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分類 (1件):
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発光素子 
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