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J-GLOBAL ID：201002217836259353   整理番号：10A0019833

フッ素固定式パーフルオロ化合物(PFCs)除害システム

Perfluorocompounds (PFCs) Abatement System Utilizing Fluorine Immobilized Adsorbent

著者 (7件)： 鈴木克昌 (大陽日酸株式会社) ,  石原良夫 (大陽日酸株式会社) ,  迫田薫 (大陽日酸株式会社) ,  白井泰雪 (東北大学未来科学技術共同研究センター) ,  大見忠弘 (東北大学未来科学技術共同研究センター) ,  渡辺高行 (宇部マテリアルズ株式会社) ,  伊藤隆司 (東北大学大学院工学研究科)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 52  号： 11  ページ： 624-628 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 省電力で高いPFCs除去率を有し,かつ資源枯渇問題の解決と安全性確保を提供することを目的に開発した除去システムについて述べ,CF_x膜CVDプロセス排ガスを対象として行った性能評価結果について報告した。また,本除去システムを導入することによる環境負荷低減効果について考察した。粒径2~6mmと比表面積60~80m²/gを両立する高比表面積粒状CaO剤を充填したCaO剤充填筒および2MHzICPプラズマ発生装置から構成されるF固定式PFCs除去システムを開発した。本構成によって,水資源問題および危険性を伴う水スクラバー処理による除去を可能にした。また,PFCsの分解と分解生成物中フッ素成分の固定をブースターポンプとバックポンプの間の減圧雰囲気下で行う構成によって再結合CF₄の生成を予防し,高い除去率を実現した。CF_x膜CVDプロセス排ガスを対象にした実証実験では,300°Cに保温した高比表面積粒状CaO剤でC₂F₄とC₅F₈をプレ除去することによってプラズマの低電力化および安定化を果たした。この時のPFCs除去効率およびCO₂換算除去効率はそれぞれ99.96%および93.5%であり,省電力での高効率除去が実証できた。また,除去処理後のCa剤が安全に扱える組成であることを確認した。今後,リサイクル用途への展開を検討する予定である。

シソーラス用語： *フッ素化合物 ,  *排ガス処理 ,  *炭素化合物 ,  減少 ,  負荷 ,  *酸化カルシウム ,  除去
準シソーラス用語： 環境負荷低減 ,  *汚染物除去

分類 (1件)： 排ガス処理法  (SC04020W)

引用文献 (18件)：

• 1) SICAS Historical Data. 2008-10 edition. Available: http://www.sicas.info/
• 2) K. Kikkawa: Oyobutsuri, 68 (1999) 1215. [in Japanese]
• 3) International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), 2007 edition. Available: http://www.itrs.net/reports.html
• 4) T. Shirafuji: J. Plasma Fusion Res., 83 (2007) 350.
• 5) G. Kawamura: Proc. 17th Int. Micro Electronics Conf., Miyagi, Japan, 2005, p. 57.

タイトルに関連する用語 (1件)： フッ素