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J-GLOBAL ID：201002220427397176   整理番号：10A0435100

ナノ構造化ダイヤモンドライク炭素膜の特性評価

Nanostructured diamond-like carbon films characterization

著者 (3件)： MOUSINHO A.p. (Laboratorio de Sistemas Integraveis do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletronicos da Universidade de Sao ...) ,  MANSANO R.d. (Laboratorio de Sistemas Integraveis do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletronicos da Universidade de Sao ...) ,  SALVADORI M.c. (Laboratorio de Sistemas Integraveis do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletronicos da Universidade de Sao ...)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 495  号： 2  ページ： 620-624  発行年： 2010年04月16日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,高密度プラズマ化学気相成長で作製したナノ構造化DLC膜の粗さと構造への基板表面状態による影響を調べた。ナノ構造化DLC膜の成長プロセスが始まる前にシリコンウェハー表面を改質するために4つの方法,即ちマイクロダイヤモンド粉末分散,マイクロ黒鉛粉末分散及び湿式化学エッチングとプラズマエッチングによる粗さ発生を用いた。対照ウェハーは化学的クリーニングだけを行った。最終的な粗さとsp³混成度(構造と化学組成に関係する)は基板表面状態に強く依存することが明らかとなった。表面粗さはAFMとSEMで観察し,DLC膜の混成度はRaman分光で分析した。DLC膜構造への基板表面による影響が確かめられた。これらの現象は局所的により大きな表面エネルギーと鋭いエッジがDLC膜のナノ構造化特性を促進する局所的な欠陥を引き起こすという事実で説明できた。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ナノ構造 ,  *DLC膜 ,  *プラズマCVD ,  *表面粗さ ,  膜構造 ,  *基板 ,  ウエハ【IC】 ,  *表面改質 ,  ダイヤモンド ,  粉体 ,  グラファイト ,  エッチング ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： Siウエハ ,  化学エッチング ,  黒鉛 ,  粉末

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ構造 ,  炭素膜 ,  特性評価