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J-GLOBAL ID：201002222895180578   整理番号：10A0762454

超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発(第6報:XYステージへの応用)

著者 (7件)： 檀上弥輝 (同志社大 大学院) ,  檀上弥輝 (同志社大 工) ,  甲藤智 (同志社大 大学院) ,  甲藤智 (同志社大 工) ,  杉本敦志 (同志社大 工) ,  平山朋子 (同志社大 工) ,  松岡敬 (同志社大 工)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2010-5  ページ： 179-180  発行年： 2010年04月23日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *空気軸受 ,  サーボ制御 ,  アクチュエータ ,  位置決め ,  舞台
準シソーラス用語： 空気圧アクチュエータ ,  ステージ

分類 (1件)： 軸受  (QB01020W)

タイトルに関連する用語 (7件)： 精密位置決め ,  空気圧 ,  軸受 ,  アクチュエータ ,  開発 ,  XYステージ ,  応用