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J-GLOBAL ID:201002223527904040   整理番号:10A1143880

層毎の組み立て薄膜のインクジェット堆積

Inkjet Deposition of Layer-by-Layer Assembled Films
著者 (2件):
資料名:
巻: 132  号: 41  ページ: 14496-14502  発行年: 2010年10月20日 
JST資料番号: C0254A  ISSN: 0002-7863  CODEN: JACSAT  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本稿は,マテリアルデザインや多層薄膜への応用には本質的な,多層成長に関する正確な制御の問題を未然に防ぐ単純なパターンを報告する。多層膜は,また増加した接着性と制御された湿潤性の印刷表面を修飾する為に使用される。ドロップ-オン-デマンドのフォトプリンターを使用して各種CD(ガラス,シリコンとプラスチック)上に印刷する為に具えた。薄膜の成長は,UV-可視スペクトルで,膜厚は,532nmの波長のエリプソメーターで,表面状態は,走査型電子顕微鏡で評価した。高分子量ポリ(ジアリルジメチルアンモニウム・クロリド)(PDDA)をイオン水で希釈し0.25と0.0025wt%で使用した。クエン酸安定化金ナノ粒子(GNPs,13±2と20±2nm)を使用した。インクジェットLBL膜のパターン化と安定性は,またこの方法が,層化のナノスケール制御で多層レベルパターン化将来の代替手段を提供できる事を示している。陰電荷の金ナノ粒子と陽電荷のポリ(ジアリルジメチルアンモニウム・クロリド)のモデルシステムを使用して,物質的な安定性,厚さのナノスケール制御,およびインクジェットLBL技術によって提供された粒子適用範囲は,従来の湿式サイクルで作られた多層の場合に匹敵するか,または良くなるように見られる。
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  集積回路一般  ,  電子回路一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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