抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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環境問題から,水素がエネルギー源として多大な注目を浴びている。本稿では,水素利用技術の中で安全性・信頼性を確保する上で重要な役割を果たす水素センサについて概説した。初めに,水素センサの種類を挙げ,電気検知式および光検知式の両方について特徴を簡単に示した。この中で後者について,利点として着火源がないために安全性が高い,電磁的ノイズの影響を受けにくいおよび光情報システムとの整合性が良いことを述べ,後段においてその開発の詳細を示した。ここでは,パラジウム膜/酸化物膜/ガラス基板二層薄膜センサ,パラジウム膜/ガラス基板単層薄膜センサ,パラジウム膜/バッファー層/ガラス基板単層薄膜センサ,パターン化パラジウム/ガラス基板単層薄膜センサ,パラジウム/有機基板単層薄膜センサおよびパラジウム/有機物/ガラス基板ハイブリッド薄膜センサについて,それぞれ簡単に解説した。