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J-GLOBAL ID：201002225854239931   整理番号：10A0822914

CoPt/AlN多層構造でのCoPtトップ層に対する垂直保磁力の増強

Enhancement of perpendicular coercivity for CoPt top layer in CoPt/AlN multilayer structure

著者 (3件)： YU Youxing (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Tokyo Inst. of Technol., 2-12-1, Oh-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8552, JPN) ,  SHI Ji (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Tokyo Inst. of Technol., 2-12-1, Oh-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8552, JPN) ,  NAKAMURA Yoshio (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Tokyo Inst. of Technol., 2-12-1, Oh-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8552, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 108  号： 2  ページ： 023912  発行年： 2010年07月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlN20nm/[CoPt2nm/AlN2nm]₅/CoPt(x)多層構造(xはトップCoPt層厚)をスパッタ堆積し,磁気挙動を調べた。その結果,この構造の磁気異方性は,熱処理に著しく依存することが分かった。アニーリング温度の上昇と共に,この薄膜の異方性は,面内異方性から垂直異方性に変化した。特に,CoPtトップ層について,アニーリング温度を500°Cまたはそれ以上に上昇させた場合,垂直保磁力は,ベース多層内のCoPt層と比べて遥かに速く増大した。CoPtトップ層とベース多層との間の保磁力の相違は,このようにして,磁化過程の間に反平行整列状態をもたらした。CoPtトップ層に対する垂直磁化と保磁力との増大を,この層内の残留応力の変化と関連付けた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *多層 ,  *白金合金 ,  コバルト含有合金 ,  窒化アルミニウム ,  *磁性薄膜 ,  半導体薄膜 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  磁化 ,  磁気ヒステリシス ,  保磁力 ,  結晶構造 ,  X線回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  焼なまし ,  温度依存性 ,  *垂直磁気異方性 ,  残留応力
準シソーラス用語： 面内磁気異方性

分類 (2件)： 金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： AlN ,  多層構造 ,  トップ層 ,  垂直 ,  保磁力 ,  増強