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J-GLOBAL ID：201002226833928989   整理番号：10A0639559

高分子基盤に蒸着したナノスケールPt薄膜の弾性率のしわベース測定 検証および不確実性解析

Wrinkle-Based Measurement of Elastic Modulus of Nano-Scale Thin Pt Film Deposited on Polymeric Substrate: Verification and Uncertainty Analysis

著者 (7件)： CHOI H-J. (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  KIM J-H. (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE H-J. (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  SONG S-A. (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE H-J. (Korea Inst. Machinery and Materials, Daejeon, KOR) ,  HAN J-H. (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  MOON M-W. (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
資料名： Experimental Mechanics  (Experimental Mechanics)
巻： 50  号： 5  ページ： 635-641  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： D0405A  ISSN： 0014-4851  CODEN： EXMCA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケール薄膜は,半導体,MEMSおよびNEMSにおいて広く活用されている。本文では,高分子基盤に蒸着したナノスケールPt薄膜の弾性率のしわベース測定を検討した。まず,しわ形成の機構,しわに対する解析モデルを検討し,理論的解析を行なった。ついで,試験片の準備,しわ形成,しわ特性化を検討した。つづいて,微小引張試験を行なった。ひきつづき,不確実性解析を行ない,不確実性の源,組合せ標準不確実性,しわベース測定に対する指針を検討した。本研究の結果,しわベース測定によって測定したPtナノスケール薄膜の弾性率は,微小引張試験によって独立的に測定したそれとよく一致することがわかった。また,弾性率の評価に対する主な不確実性要素を指摘し,信頼性のあるしわベース測定の指針を得ることができた。

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  皺 ,  蒸着膜 ,  引張試験 ,  解析モデル ,  不確実性 ,  白金 ,  ナノ構造 ,  *弾性係数 ,  *計測

分類 (3件)： 金属材料  (HC02020X) ,  材料試験  (HB02020U) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (10件)： 高分子 ,  基盤 ,  蒸着 ,  ナノスケール ,  Pt ,  薄膜 ,  弾性率 ,  しわ ,  検証 ,  不確実性解析