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J-GLOBAL ID：201002228500537667   整理番号：10A0278983

スパッタ法により作製したカラム状アルミニウム合金膜の表面濡れ性に及ぼす表面形態の影響

著者 (3件)： 藤井隆志 (北大 大学院) ,  青木芳尚 (北大 大学院) ,  幅崎浩樹 (北大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 121st  ページ： 236-237  発行年： 2010年02月26日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： アルミニウム合金 ,  *金属薄膜 ,  スパッタリング ,  真空蒸着 ,  *アノード酸化 ,  *濡れ ,  多孔質金属 ,  微細構造
準シソーラス用語： 斜め蒸着

分類 (2件)： その他の物理的・機械的性質  (WB02040F) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ法 ,  作製 ,  カラム ,  アルミニウム合金 ,  表面濡れ性 ,  表面形態