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J-GLOBAL ID：201002229863747392   整理番号：10A0761752

同軸アークプラズマガンを用いた超ナノ結晶ダイアモンド/水素化非晶質炭素複合膜の蒸着過程における光学発光分光法

Optical emission spectroscopy of deposition process of ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films by using a coaxial arc plasma gun

著者 (4件)： HANADA Kenji (Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, Kyushu Univ., 6-1 Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  NISHIYAMA Takashi (Dep. of Aeronautics and Astronautics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN) ,  YOSHITAKE Tsuyoshi (Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, Kyushu Univ., 6-1 Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN) ,  NAGAYAMA Kunihito (Dep. of Aeronautics and Astronautics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 7-9  ページ： 899-903  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超ナノ結晶ダイアモンド/水素化非晶質炭素複合材料(UNCD/a-C:H)膜が水素雰囲気中で同軸アークプラズマガンにより蒸着される過程を,ナローバンドパスフィルタを備えた増感電荷結合素子(ICCD)カメラにより分光学的に調査した。強い発光は100μs以上続いた。発光時間および堆積速度から,過飽和状態が生じていることは明白である。このことは,UNCD晶子の形成に寄与していると思われる。UNCD晶子サイズはX線回折ピークから2.3nmと見積もられた。非常に小さな値であり,結晶核が成長することなく繰り返し形成されていることを意味している。アークプラズマガンにより生じた炭素種の数は,環境の水素分子が炭素種と衝突して生じた水素原子よりも多く,水素原子のUNCD晶子の形成への影響が小さいためであると考えられる。この理論は同軸プラズマガンが真空中でもUNCD晶子を形成する事実と矛盾しない。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  *ダイヤモンド ,  *水素化 ,  *炭素材 ,  非晶質 ,  *複合膜 ,  アーク放電 ,  プラズマCVD ,  *発光分光法 ,  CCDカメラ
準シソーラス用語： プラズマガン ,  *プラズマ蒸着 ,  *非晶質炭素

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

タイトルに関連する用語 (11件)： 同軸 ,  アーク ,  プラズマガン ,  ナノ結晶 ,  ダイアモンド ,  水素化 ,  非晶質炭素 ,  複合膜 ,  蒸着過程 ,  光学 ,  発光分光法