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J-GLOBAL ID:201002230284124195   整理番号:10A0312698

パリレンピールオフを用いる配向印刷により生成したナノスケール分解能の多成分系生体分子アレイ

Nanoscale Resolution, Multicomponent Biomolecular Arrays Generated By Aligned Printing With Parylene Peel-Off
著者 (4件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 719-725  発行年: 2010年02月 
JST資料番号: W1332A  ISSN: 1530-6984  CODEN: NALEFD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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蛋白質ナノアレイのパターン形成のための印刷ピールオフ法(PNP)を提案した。基板上にパリレンフィルムおよびアルミニウム層を積層し,電子ビームリソグラフィーパターン書き込み,アルミニウム層およびパリレン層のエッチング,アルミニウム層除去によりパターン孔を形成したパリレン層を露出させる。インクジェット印刷により蛋白質パターンを印刷し,パリレンテンプレートのピールオフにより蛋白質ナノアレイを得る。インクジェットによる印刷精度に依存せず高精度のナノパターンが形成でき,複数のインクジェットヘッドの組合せによりコンビナトリアルパターン作製に拡張できる。
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分類 (4件):
分類
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生物物理的研究法  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  固-気界面一般  ,  高分子担体・触媒反応 

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