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J-GLOBAL ID：201002230454515712   整理番号：10A0731585

マイクロリソグラフィレンズ材料における二次元複屈折分布の高速精密測定

Fast and precise measurements of the two-dimensional birefringence distribution in microlithographic lens materials

著者 (1件)： KATTE Henning T. (ilis gmbh, Erlangen, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7638  号： Pt.2  ページ： 763834.1-763834.8  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウエハステッパーでは多数のレンズが使われているので,個々のレンズでわずかな透過率低下があっても総合的に大きな透過率低下になる。わずかな固有応力さえもレンズ材料の微細構造に変形をおこし,屈折率の方向依存性をもたらす。複屈折は透過光の偏光状態を変化させ測長などを狂わすので,レンズブランクでの応力複屈折とその空間分布の正確な決定が重要である。再現性,空間解像度,測定速度を満たす新自動イメージング偏光計を開発した。自動試料位置決めと組み合わせて非常に大きな試料でも空間解像度を損なうことなく高精度で測定可能である。横解像度0.01mmは平均値だけでなく最大最小値に対して信頼性高い記述を可能とした。さらに,高解像度によってガラスまたは結晶構造中の小さな傷の検出が可能になった。それは傷で生じる応力ハロを通してのみ可視化される。

シソーラス用語： *複屈折 ,  残留応力 ,  光弾性 ,  *リソグラフィー ,  *レンズ ,  材料 ,  屈折率 ,  依存性 ,  偏光 ,  長さ測定 ,  空間分解能 ,  光散乱
準シソーラス用語： ハロー ,  空間解像度 ,  測長 ,  方向依存性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロリソグラフィ ,  レンズ材料 ,  複屈折 ,  分布 ,  精密測定